2025-09-10 一文搞懂＂衬底＂“外延”的区别和联系

在半导体产业链中，特别是第三代半导体（宽禁带半导体）产业链中，会有衬底及外延层之分，那外延层的存在有何意义？和衬底的区别是什么呢？ 首先，先普及一个小概念：晶圆制备包括衬...